薄膜厚度是否均匀一致是检测薄膜各项性能的基础，薄膜测厚仪分为在线和非在线测量两种方式。在线测量一般选用光学透过率原理的真空镀膜在线测厚仪，非在线测量一般选用体积小巧的涂层测厚仪。