真空镀膜设备性能分析

真空镀膜设备主要由真空腔、抽气系统、蒸发系统、成膜控制系统等组件构成。如今镀光学薄膜的真空镀膜机还可配置安装光密度在线检测仪，深圳市林上专业生产的‍‍光密度在线检测仪LS152‍‍是专业用于真空镀铝膜、真空磁控溅射镀太阳膜等光学薄膜生产线上真空镀膜检测设备。

       真空镀膜设备性能分析如下：
       1、炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。
       2、根据工艺要求选择不同规格及类型的镀膜设备，其类型有电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。
       3、夹具运转形式有自转、公转及公转+自转方式，用户可根据基片尺寸及形状提出相应要求，转动的速度范围及转动精度：普通可调及变频调速等。
       4、真空系统由机械泵、扩散泵、油增压泵、增扩泵、罗茨泵、埚轮分子泵等及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。
       5、根据工艺要求选择镀制方式及形式，如电阻蒸发（钨丝、钼舟、石墨舟）磁控源（同轴圆柱型磁控源、园柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等）以靶材材质及尺寸多弧源（Ф60，Ф80直径靶材，气动、电动的引弧等），真空测量可选择数字式智能真空计及其优质的测量规管，及其它测量仪器，如自动压强控制仪等。膜厚测量可选用方块电阻测量仪，透过率计等。     
       6、充气方式可选用质量流量计、浮子流量计 + 针阀及相应的充气阀门，并可选择多路充气管路及相应流量参数。
       7、根据需烘烤的结构提出烘烤温度、材质以及所需配备相应仪表测量。
       8、根据设备使用特点，可选择手动、半自动、全自动或其组合的控制方式。
       9、完善的报警系统，对真空室体、扩散泵断相、缺水、气压、电源负载的过压、过流等异常情况进行声光报警。